IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING Q2区

期刊收录：
SCIE
Scopus

半导体制造的IEEE交易杂志

ISSN：
0894-6507
影响因子：
2.3
是否综述期刊：
否
是否预警：
不在预警名单内
是否OA：
否
jcr分区：
Q2区
发刊时间：
0
发刊频率：
Quarterly
中科院大类：
工程技术

出版信息

出版国家
UNITED STATES
出版社：
Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
数据库：
SCIE,Scopus
年发文量：
77
国人发稿量：
10.01
自引率：
-

平均录取率:0
平均审稿周期:平均6.0个月
版面费:US$2195
研究类文章占比100.00%
被引用占比:-
偏重研究方向:工程技术-工程：电子与电气

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期刊关键词

SCIE Scopus PHYSICS APPLIED Q2 工程技术 4区物理：应用

期刊简介

The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes.

IEEE半导体制造会刊解决了制造复杂微电子元件，特别是超大规模集成电路（VLSI）的挑战性问题。制造这些产品需要精确的微图案化、精确控制材料特性、超洁净的工作环境以及化学、物理、电气和机械工艺的复杂相互作用。

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